在多轴数控电火花成形加工机床上将自动定位功能进一步延伸，借助标准球为测量球和相应的计算就可对工件和工具电极进行检测，相当于三坐标测量机。

（1）在机检测的主要用途

1）对已加工工件各尺寸和相对位置的检测。

2）对工具电极各尺寸和损耗的检测。

3）对尺寸要求在微米级的精密微细工件，特别是拆下无法重复安装的工件，在加工过程中实时对加工的型腔尺寸和工具电极进行在机测量，以判断是否符合加工精度要求及计算继续加工的进给量，以判断是否符合加工精度要求及计算继续加工的进给量，直到检测合格。这是加工精密微细工件不可缺少的条件。

（2）在机测量技术的应用

对工件各加工表面上型腔尺寸的测量  该测量主要是利用数控系统的自动端面定位功能。测量可使用测针或测量球。加工深度的测量：用测量球在同一方向上自动碰不同深度的型面，记录各型面的坐标值并计算差值，即可得到型腔深度尺寸。加工宽度的测量：先用测量球在被侧型腔中碰一个型面，再向相反的方向碰另一面，记录并计算两次所得到的坐标差值，减去或加上测量球的尺寸，即可得到型腔的宽度或型腔的内径尺寸。