火花放电时，电极表面的金属材料究竟是怎样被蚀除下来的，这一微观物理过程也就是电火花加工的物理本质，或称机理。了解这一微观过程，有助于掌握电火花加工工艺的基本规律，对脉电源、进给装置、机床设备等提出合理的要求。从大量实验资料来看，每次电火花腐蚀的微观过程是电场力、磁力、热力液体动力、电化学和胶体化学等综合作用的过程。这一过程大致可以分为四个连续阶段：极间介质的电离、击穿，形成放电通道；介质热分解、电极材料熔化、气化热膨胀；电极材料的抛出；极间介质的消电离。