软氮化工艺包括渗剂选择、共渗温度、时间以及冷却方式等。

⑴常用渗剂    直接滴醇+ NH3，直接用向炉内滴入甲醇（或乙醇），并通入氨气。

⑵软氮化温度    一般在570℃，对于高铬工具钢（Crl2MoV），为保证工件整体强度和硬度，才采用较低的温度（510~550）℃，使之略低于工模具的回火温度。低碳钢可以区600~650℃。

⑶软氮化时间    软氮化时间一般采用2~4h。工件表面化合物层深度随时间增加而增加，达到6h后渗速明显减慢。希望通过延长时间增加渗层深度有一定局限性。渗层的表面硬度一般在2~3h出现最大值。

对于高速钢刀具的时间，一般不要超过1.5h，目的是减少脆性。

⑷炉内压力    炉内压力对表面硬度有明显影响，一般要≥20mm。

⑸渗后冷却    软氮化后工件一般应快冷。①高合金钢可在油或空气中冷却，以防开裂；②碳钢、低合金钢、铸铁则可在水或氯化钠水溶液中冷却。

快速冷却可使表面残余压应力进一步提高，从而显著提高工件的疲劳强度，并使表面色泽美观。

⑹软氮化组织硬度检测：按照《JB/T4155-1999气体氮碳共渗》和《GB/T11354钢铁零件    渗氮深度测定和金相组织检查》，对表面硬度、渗层深度以及组织进行检测。