超声放电复合加工是指辅以超声振动的复合电火花加工。目前，主要有超声放电复合抛光和超声放电复合打孔及表面精微加工等。超声放电复合加工是通过采用超声频信号产生超声振动，改善放电间隙状况，强化电火花加工过程而实现的。

需要说明的是，因在前面章节已介绍了超声振动式的排屑与排气及超声波抛光等问题，为了避免重复，故在此只介绍超声放电复合打孔。

（1）超声放电复合打孔的加工原理   超声与电火花相结合的超声放电复合打孔，是将超声振动部件固定在电火花加工机床的主轴头下部，脉冲电源接到工具电极和工件上。加工面积的微孔加工。需要指出的是，在中工面积大和粗、中加工时，不宜选用超声放电复合加工。不合适的加工条件将使超声电火花放电减少，非正常放电增多。

（2）超声放电复合打孔的方法  实现超声电火花同步复合打孔最简单的方法是采用RC线路脉冲电源。当工具电极下端面上的振动处于接近最高点前时，RC线路脉冲电源即向电容、工具电极和工件充电；当工具电极端面自最高点向下振动时，电容上已基本充电完毕，一旦电极商硕下行至合适的放电间隙（精微加工时约5μm），工作液间隙即被击穿，电容上储存的能量瞬间释放而形成火花放电。待工具电极端面再次向上时，RC线路又向电容器充电，至最高点时基本充满，电极端面下行时再将放电，这样时而复始，超声每振动一次，就能引发一次火花放电，每秒将有4万~5万将超声频率的接近百分之百的有效火花脉冲放电率。工具电极、主轴头不用经常频繁地进退伺服进给，只有当工件蚀除和工具电极损耗使间隙大于击穿间隙成为较长期的开路状态时，工具电极才伺服进给一步，因而大大提高了加工效率和稳定性。此方法克服了超声振动频率和脉冲电源频率相互脱节的缺点。

（3）超声放电复合打孔的应用与特点

1）微孔加工   可加工孔径φ0.05~0.4mm、深度0.5~10mm，尺寸精度±0.005~±0.01mm，表面粗糙度Ra值3.2~0.1μm。

2）异形喷丝孔  可加工各种形状的异形喷丝孔，取得利用超声电火花复合加工提高生产率3~20倍的工艺效果。

3）加工深度与加工速度  在同样加工条件下，超声放电复合打孔的深度是电火花打孔深度的3倍以上，加工直径0.25mm孔时，超声放电复合打孔的极限深度为10mm以上，深径比高达40以上。超声放电复合打孔与电火花孔相比，当孔深小于0.4mm时，前者所需加工时间是后者的1/4~1/5，当孔深增加到1mm时，加工时间则为后者的1/10~1/12。