电火花加工精度的高低与电火花机床本身的原理误差、机床误差、受热变形有很大关系，有时会直接影响到加工精度，应引起足够重视。

（1）原理误差  电火花加工是依靠脉冲放电能量来蚀除金属，使工件达到一定精度要求的“尺寸加工”，与其他机械切屑加工原理不同。因此，一般电极即为成形工具，直接依靠放电加工出成形表面，其型腔的形面和尺寸全靠工件的加工速度。所以要想获得较好的加工精度，就必须按设计要求制造合格的工具电极，选择正确的加工工艺方法。

（2）机床误差  主要指机床的制造误差、磨损误差、安装误差等。如果机床本身的制造精度就差，那么电火花加工的工件精度也肯定受影响。一般电火花加工机床出厂时都要通过机床精度检验，其内容是机床的主要零部件本身的几何形状和相互位置误差，应包括机床的静态误差和动态误差的检验。

另外，精度检验合格的电火花机床，经过一段较长时间的使用后，不可避免的磨损和其他原因，原有的机床精度会有不同程度的降低，会产生各样的加工精度问题。这就需要对机床磨损差进行测量、检验和分析，采取措施以恢复原有的制造精度。

关于安装误差是指机床在使用之前应分别进行检验、试车，符合要求后再进行整机调试。尤其要保证主轴运动灵活性，并具有很高的运动精度和刚度。否则会因为安装误差或安装错误影响加工精度。

（3）受力变形  在电火花放电中，因冲击压力产生的反作用力，一般很小可忽略不计。但在加工大型工件使用较重的电极加工时，电极在反复抬起的过程中，电极与工件之间接近真空状态，承受较大的过渡性背压力和激振力；另外，质量大的电极从近似停止状态到快速抬起或快速下降时，产生过渡性的反力，这些均不可忽视。

另外，工作液的冲液压力所产生的减压形成的反作用力，特别是冲液的位置、冲液压力的大小及是否均匀等，也是应该注意的。还应考虑主轴、工具电极和工件的刚性，否则会使主轴头产生明显的振动，引起工具电极的变形或工件的位移，降低加工精度。

（4）受热变形  电火花放电能量变换成的热能，即放电能量中消耗在使用工作液温度升高的热量。精加工能量小可忽略不计；但粗加工能量大需考虑，其工作液温升有时达40～60℃，就应该有充足的工作液贮存量、大型设备还必须有冷却循环装置。如果工作液长时间温升过高，会造成工作台基座温差，使工作台扭曲或翘曲，因工作台的热变形还会使立柱后仰，并使工具电极端部产生相应的位移。因此说，热变形是一个逐渐影响加工精度的因素。为保证加工精度就必须尽可能减少工作液的温升，加强工作液的循环过滤和控制机床所在环境的温度变化，高精度机床应在恒温控制下工作。