在电火花加工过程中，由于工具电极的损耗对尺寸精度和形位精度都有影响。电火花穿孔加工时，电极可以贯穿型孔而补偿电极的损耗，但型腔加工时则无法采用这一方法，精密型腔加工时可采用更换电极的方法，或采用粗、中加工低损耗规准，在保证形位加工精度的基础上逐渐转换加工规准，利用平动或摇动的工艺方法修光型腔表面来满足加工精度的要求。具体影响电极损耗的因素很多，在前面章节已有讲述，在此就不重复了。