电火花加工时，工具的尖角或凹角很难精确地复制在工作上，这是因为当工具为凹角时，工件上对应的尖角处放电蚀除的概率（机会）大，容易遭受腐蚀而成为圆角，当工具为尖角时，一则由于放电间隙的等距离性，工件上只能加工出以尖角顶点为圆心、放电间隙S为半径的圆弧；二则工具上的尖角本身因尖端放电蚀除的概率在而损耗成圆角，有用高频窄脉宽精加工，放电间隙小，圆角半径中以明显减少，因而提高了仿形精度，可以获得圆角半径小于0.01mm的尖棱，这样以于加工精密小模数齿轮等冲模电火花加工是很重要的。

目前，电火花加工的精度可达0.01～0.05mm，在精密光整加工时可小于0.005mm。