电火花加工表面质量是指工件在电加工之后的几何形状误差，包括宏观几何形状误差（如不圆度、不柱度等），微观几何形状误差（指被加工表面上所具有的较小间距的微小峰谷的高低不平）和介于两者之间的中间几何形状误差。实际上电火花加工的表面质量主要包括表面粗糙度、表面变质层和表面机械性能三部分。