电火花加工表面由于受到瞬时高温作用并迅速冷却而产生拉应力，往往在表面出现显微裂纹。实验表明，一般裂纹仅在熔化层内出现，只有在脉冲能量很大的情况下（粗加工时），才有可能扩展到热影响层。

脉冲能量以显微裂纹的影响是非常明显的，能量越大，显微裂纹越宽、越深。脉冲能量很小时（例如加工表面粗糙度R_a1.25μm时）一般不出现裂纹。不同工作材料对裂纹的敏感性也不同，硬质合金等硬脆材料容易产生表面显微裂纹。在含铬钨、钼、钡等合金元素的冷轧模具钢、热轧模具钢、高速钢、耐热钢中较易产生，在低碳钢和低合金钢中不产生。工件预先的热处理状态对裂纹产生的影响也很明显，加工淬火材料要比加工淬火后回火或退火的材料容易产生裂纹，因为淬火材料脆硬，原始内应力也较大。

对晶体管电源，脉冲体t_i在10μs以下是安全区，即使峰值电流较大（<100A），也不会产生显微裂纹。

放电能量如果很大，甚至在单次放电痕上也有产生显微裂纹的可能性。

实际生产上，模具钢的安全区域远比硬质合金大，即使在有裂纹的加工中，用精加工亦可去掉粗加工后的表面显微裂纹。